特点: 1.使用高介电常数的材料制造电极,提高加工精度。
2.改善冷却条件,采用水冷或双极冷却。
3.降低气源露点,提高气源洁净度。
4.提高臭氧电源的驱动频率,降低电耗。
5.采用智能控制,并对运行工况再线监测。